一、工作原理：按照工作原理可分為氣體轉(zhuǎn)移式真空泵和氣體捕獲式真空泵兩種。氣體轉(zhuǎn)移式真空泵是一種通過將氣體不斷的吸入和排出以此來達(dá)到抽真空目的的真空泵，使用該原理的真空泵油變?nèi)菡婵毡煤蛣恿總鬏斦婵毡脙煞N。氣體捕獲式真空泵是通過將氣體分子吸附在泵的內(nèi)表面從而使密封容器內(nèi)部的氣體分子減少從而達(dá)到抽真空的目的真空泵，其中代表性的應(yīng)用有螺桿式真空泵、分子真空泵、旋片式真空泵、噴射真空泵和活塞式真空泵等。

二、真空度：除了粗真空和低真空可以使用一種真空泵完成，高真空以上的領(lǐng)域必須要兩種以上的真空泵機(jī)組才可以完成。我們按照真空度來進(jìn)行分類可大致分為14大類，分別為：

1、高/超真空：低溫泵、分子泵、擴(kuò)散泵、鈦升華泵、濺射離子泵。

2、中真空：干泵、羅茨泵、油增壓泵、雙級旋片泵、水蒸汽噴射泵。

3、粗/低真空：液環(huán)泵、滑閥泵、單級旋片泵、往復(fù)式真空泵。

三、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：根據(jù)真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)可分為機(jī)械式真空泵和射流式真空泵兩種，通過機(jī)械的運(yùn)動來不斷改變真空泵的吸氣容腔容積從而獲得真空的真空泵，我們稱之為機(jī)械式真空泵。機(jī)械式真空泵有旋片泵、螺桿泵、羅茨泵、液環(huán)泵、往復(fù)式真空泵和旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵。噴射式真空泵則是利用流體傳遞能量和質(zhì)量，是由噴嘴、吸入室和擴(kuò)壓管三部分組成，本身并沒有運(yùn)動部件。它的工作原理是利用高壓的工作流體從噴嘴高速噴出，經(jīng)過能量轉(zhuǎn)換后在噴嘴的出口形成真空的區(qū)域，從而將被抽取的介質(zhì)吸出來，兩種介質(zhì)會在擴(kuò)壓管內(nèi)進(jìn)行能量交換然后排出，以此來達(dá)到抽真空的目的。采用射流式的真空泵有空氣噴射泵、水蒸氣噴射泵和其他類型的擴(kuò)散泵等。