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簡要描述:半導(dǎo)體氮氣柜適合半導(dǎo)體前端單晶硅制作過程中硅片及晶圓盒的存放,防止硅片的返顆粒,返霧現(xiàn)象; 由于普通的干燥存儲柜或者氮氣柜設(shè)計都為全封閉環(huán)境,且無自凈功能,故內(nèi)部容易積聚大量灰塵,而這些灰塵極可能粘附在存儲品上。潔凈柜則適合存放需要避免灰塵污染的物品。
產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
品牌 | 愛義信 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣 |
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產(chǎn)品特性:
1、4英寸超高亮數(shù)碼管顯示,可視距離30米,可加裝氮氣節(jié)約控制系統(tǒng),可加裝報警系統(tǒng)。
2、無塵風(fēng)機(jī)——采用進(jìn)口無塵室專用FFU風(fēng)機(jī),鍍鋁鋅板材質(zhì),鋁合金葉輪,風(fēng)速0.3-0.45m/s,噪音<=55dB。
3、雙面護(hù)網(wǎng)高效過濾器——過濾效率高99.99%@0.3um。
4、半導(dǎo)體氮氣柜采用模組化設(shè)計,溫濕度顯示器、控制系統(tǒng)、除塵系統(tǒng)及除靜電系統(tǒng)均能快速更換, 保養(yǎng)及維修簡便,大大提升維護(hù)效率。
5、配備氮氣節(jié)約裝置,系統(tǒng)會根據(jù)濕度設(shè)定值,自動切斷和打開氮氣供應(yīng),相比市場其他直充氮氣機(jī)型可節(jié)約70%氮氣消耗量。大程度降低使用成本。
6、半導(dǎo)體氮氣柜采用多點供氣系統(tǒng)。氮氣通過蜂窩孔沖入工作室,氮氣分布更加均勻。避免了普通單點供氣而產(chǎn)生的死點死角現(xiàn)象。
7、低能源綠色環(huán)保設(shè)計,不返潮、不發(fā)熱、不滴水、無任何噪音,產(chǎn)品通過ROSH等相關(guān)認(rèn)證。
技術(shù)參數(shù):
1、材質(zhì):雙鏡面304不銹鋼
2、外尺寸: 1300W*1836H*800Dmm
3、內(nèi)尺寸: 1253W*1110H*650Dmm
4、除濕等級: 相對濕度可達(dá)到5%Rh以下 (配合充氮氣)
5、潔凈等級: ISO Class 2(百級) ISO Class 3(千級)
6、濕度顯示范圍: 0.1%RH-99.9%RH
7、濕度顯示范圍: -40℃-70.0℃(-9.9℃以下顯示不帶小數(shù)點)
8、溫濕度顯示器精度: 相對濕度±3%Rh,溫度±1℃
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